В книге обозначены и насколько возможно полно раскрыты современные тенденции и подходы в разработке СВЧ плазмохимического оборудования и нанотехнологий на его основе Излагаются овейх математическая теория диффузионных процессов и основы теории плазмы газового разряда в магнитном поле, описаны применяемые методы решения стохастических дифференциальных уравнений и уравнений Фоккера-Планка-Колмогорова Даны обобщение и системное изложение опыта и результатов по разработке физико-технических основ новых типов микроволновых плазменных устройств Приведены результаты практического использования микроволновых источников плазмы Материалы книги могут быть задействованы в учебном процессе в качестве спецкурсов или спецсеминаров для студентов вузов соответствующего профиля Автор Равиль Яфаров.  КовролиновыйИздательство: ФИЗМАТЛИТ, 2009 г Мягкая обложка, 216 стр ISBN 978-5-9221-1150-8 Тираж: 200 экз Формат: 60x90/16 (~145х217 мм).